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1983年建。设微电子工艺技术、微电子器件物理和基础理论、大规模集成电路设计技术和测试...开展研究的方面有：国民经济和国防急需的大规模（LSI）和超大规模（VLSI）集成电路，发展VLSI和新一代微电子技术，进行工艺、设计方法、测试技术 ...
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