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针对微细电火花加工技术的特点,开发、研制了高精度三维微结构加工的细电火花设备,主要介绍了该装置的结构和数字比例、积分和微分( PID)结合双向静差补偿的控制方法,实现放电间隙与放电状态的自适应调节,并...
《压电与声光》 2015年3期 关键词: "微细电火花加工","超精密","压电陶瓷电动机","自适应调节","双向静差补偿" 收藏
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