微机械技术
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是指在1mm以下乃至纳米尺度上制造微机械装置。研究者们利用微电子材料和工艺制作了微型...这种马达可用来移动原子或开闭阀门抽取微升量级的液体。

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超精密微机械制造技术分析
<p>随着我国经济快速的发展，航空航天事业、微机械加工业、生物工程都得到了比较迅速的发展，这些行业在发展的过程中，精密微小零件有着十分重要的作用，由此，促进了精密微小零件加工的发展。<br/></p>

《科技创新与应用》 2015年28期关键词: "超精密加工","微机械","机械制造" 收藏
微机械技术及硅材料在钟表制造中的应用
文章列举了钟表擒纵调速机构零部件的传统生产工艺技术特点，介绍了应用MEMS（Micro Electromechanical System）微电子机械系统技术，对单晶硅材料进行微机械加工的工艺方法。由于...

《科技中国》 2015年10期关键词: "钟表零件","加工工艺","微机械加工（MEMS）" 收藏