更新时间:-- | 阅读量: 93
以涂层材料为靶阴极,利用氩离子轰击靶材产生阴极溅射,将靶材原子溅射到工件上形成沉......靶材原子溅射在基片上形成薄膜。其溅射速率较高，基片温度低，溅射电压为0.2～1kV，功率密度为3～30W/cm2。适用于沉积各种功能性金属和陶瓷涂 ...
搜索到与“ 溅射功率”相关的文献共 0条
010-56259535
关注中教数据库
Copyright © 2013-2016 ZJHJ Corporation,All Rights Reserved
个人中心
退出
