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    立式撞击流反应器

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    在硅单晶衬底上沿其原来的晶向再生长一层硅单晶薄膜的半导体硅材料。硅外延已发展成为门...为进一步提高外延层的均匀性，便出现了立式反应器，其大多为钟罩形，基座是水平放置的并可转动的圆盘，反应气流与基座表面垂直，外延层表面易受反应气流中颗粒的 ...

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