微机械陀螺仪
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微机械陀螺仪的新进展及发展趋势
微机械陀螺仪是陀螺技术和微电子机械系统( MEMS)技术结合产生的新一代惯性器件。根据其工作原理和采用材料的不同，微机械陀螺可分为硅基微机械振动陀螺( Si- MVGs)、微机械压电振动陀螺(PVGs...

《压电与声光》 2014年4期关键词: "硅基微机械陀螺","微机械压电振动陀螺","石英微机械陀螺" 收藏