离子减薄

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从大块样品制备金属薄膜,制得的薄膜与实际工程材料一致,应用最广泛,目前都采用这种方...离子减薄离子减薄的原理是利用氩离子在电离室里形成并加速到1~10kV能量,在真空室内轰击样品表面,样品在离子轰击下逐渐被减薄。离子减薄需在专用的离子减 ...

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