工艺模拟
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半导体工艺是一门研究半导体材料制备、半导体器件制造、集成电路制造工艺的学科。它...它包括：薄膜形成技术（离子注入、分子束、外延、薄膜技术和磁控溅射等），蚀刻技术（等离子及离子束刻蚀等）。此外，采用计算机辅助工艺模拟来进行VLSI的工艺流 ...

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一种新型MEMS微电感制作工艺和模拟研究
采用光刻、干法刻蚀、电镀等微机电系统( MEMS)工艺设计了一种新型的带磁芯的螺线管微电感。采用COMSOL Multiphysics有限元软件，计算了不同频率交流载荷下的等效电阻、等效电感和阻抗随频...

《压电与声光》 2014年2期关键词: "微机电系统(","MEMS)","制作工艺","螺线管微电感","有限元模拟","COMSOL","Multiphysics" 收藏
变模温注塑模瞬态温度场数值模拟与工艺优化
应用Autodesk三维有限元瞬态传热分析方法对变模温模具传热过程和模具与熔体之间的耦合传热进行了瞬态求解和数值模拟，获得了模具温度场的变化过程及分布规律。应用三维瞬态注塑模拟，结合正交试验设计，对变...

《塑料制造》 2015年11期关键词: "变模温注塑","瞬态温度场","数值模拟","翘曲变形" 收藏
电站脱硫装置的系统模拟与工艺改造研究
本文利用计算流体力学（CFD）软件对某2x1000MW 电站机组脱硫系统进行吸收塔流场分析，通过检验烟气等分布效果进行设计优化，以在满足环保要求的前提下，降低脱硫系统运行费用为脱硫系统优化运行提供了参...

《现代制造技术与装备》 2015年3期关键词: "脱硫","模拟","改造" 收藏
非晶软磁合金带材斜喷工艺模拟仿真
为利用斜喷工艺更好地制备出超薄非晶带材,采用ANSYS Fluent 14.5软件的二维K-E模型进行非晶带斜喷工艺的仿真模拟,模拟了喷射角度、喷射压力、喷缝大小、喷射距离、温度等条件对拾取点钢液流速...

《功能材料与器件学报》 2020年01期关键词: "非晶带材"," 斜喷工艺"," 模拟仿真" 收藏