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位置检测元件是数控机床的重要组成部分。在闭环系统中,它的主要作用是检测位移量,并发...激光位置检测，其精度可达±0.1μm，并能作无接触测量，因而广泛用于长行程、高精度的位置检测，在数控机床上和适应控制方面有很高的使用价值。如图9—21 ...
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