低能离子束

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邹世昌,凝聚态物理学家,半导体器件专家,中国科学院院士。为建立我国原子能工业作出...(3)离子束微细加工:研究了低能离子束轰击材料表面引起的溅射、损伤和貌相变化等物理现象,并用反应离子束微细加工在石英基片上刻蚀出我国第一批实用闪耀全息光 ...

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