气相二氧化硅

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SiH2Cl2,在常温常压下为有刺激性窒息气味和腐蚀性的无色有毒气体。在空气中易燃,在......腐蚀性烟雾,遇水分解生成盐酸和聚硅氧烷,可溶于苯、醚和四氯化碳。本品用于电子工业中硅外延生长,化学气相沉积二氧化硅和氮化硅。

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    《生物化工》 2017年05期 关键词: "软木粉"," 气相二氧化硅"," 真空隔热板"," 微波预处理" 收藏

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