电子束加工

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在真空条件下,利用电子枪中产生的电子经加速、聚焦,形成高能量大密度的细电子束以轰...电子束能够极其微细地聚焦,例如电流为1~10毫安时,能聚焦为10~100微米,当电流是1pA时,则电子束的聚焦可小于0.01微米,此外,最小直径的电子束 ...

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