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利用电子束与试样微区(大小为10毫米至1微米)相互作用后所产生的信号进行成分分析的......空间分辨率高等优点，已经成为分析电镜的常规方法。微区成分分析方法已在物理学、化学、地学、材料科学和生命科学等领域中得到广泛应用。
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