薄膜应力
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membrane stress

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多层薄膜热应力模拟
针对MEMS器件和光电器件的薄膜结构在高温下产生的应力与应变会严重影响器件结构与功能的问题,本文采用Suhir异质生长薄膜热应力计算理论分析了三层薄膜结构的热应力大小分布情况,得到了不同镀膜温度、膜厚...

《应用力学学报》 2020年02期关键词: "薄膜"," 热应力"," 微机电系统"," 光电器件"," 有限元分析"," 应力消除" 收藏