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仪器。主要用于检测光学度盘、圆光栅码盘等圆分度元件的分度误差。...该仪器主轴上装有一块高精度大型圆光栅,利用多头平均原理获得精度比单根刻线更高的莫尔条纹光电信号,经过相位调制的电子学细分器细分,把获得的数字量化信息,作为圆分度基准信号。 ...
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