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道了覆盖聚合物敏感膜的Love波传感器的湿度检测性能。该传感器采用在ST-900X石英基底上 旋涂聚乙烯醇( PVA)膜作为波导层兼吸湿层,测量了密闭空间中相对湿度从9%增加到88%时器件...
《压电与声光》 2015年4期 关键词: "声表面波","Love波","湿度传感器","聚乙烯醇","相对湿度" 收藏
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