微细化加工

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研究集成电子器件和集成电路理论的科学。固体电子学的分支学科。...随着IC加工微细化程度不断提高,常用的LOCOS(等平面、局部氧化)隔离技术、已成为VLSI中影响面积、特别是器件设计精度和性能的一大障碍,为此各种无鸟嘴平面隔离技术、开槽 ...

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