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STM仪器为了实现原子级分辨率需要解决下列技术关键:1. 振动的隔绝 STM探针与样品距...X-Y-Z的扫描微动精度要求很高，采用压电陶瓷施加适当电压来实现。可使针尖被驱动，也可使样品被驱动，Z方向的伸缩范围要求达≈1μm，分辨率达≈1 ...
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