硅基薄膜
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是兰州大学陈光华、张仿清、徐希翔、贺德衍、张亚非、王印月、张南屏、杨映虎承担的国家......有实用价值的实验结果。如在Si大功率晶体管和Si集成电路表面钝化方面取得了良好的效果，并已产生了很大的经济效益。各篇成果论文曾在国内外重要期刊上 ...

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聚二甲基硅氧烷薄膜对声表面波传播特性影响
研究了压电基片上聚二甲基硅氧烷( PDMS)薄膜对声表面波(SAW)传播特性影响。在128。YX -LiNb03压电基片上光刻叉指换能器(IDT)，其声传播路径上涂覆PDMS薄膜，IDT激发的SAW加...

《压电与声光》 2015年5期关键词: "压电基片","薄膜","声表面波(SAW)","裹减","微流器件" 收藏
基于声表面波聚二甲基硅氧烷薄膜形变研究
提出了一种新的聚二甲基硅氧烷薄膜形变方法。在128。YX -LiNb03压电基片上光刻叉指换能器，其激发的声表面波在压电基片上亲水表面的阻力共同作用下挤压微槽内水相微流体，使得其上的聚二甲基硅氧烷薄膜...

《压电与声光》 2015年1期关键词: "薄膜","形变","声表面波","微阀","微流器件" 收藏