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基本上由主振荡器和多级功率放大器组成。主振荡器是一个放电型的KrF激光振荡器,提供一个...正在建造的Titania高功率KrF激光系统采用Raman振荡放大和组束,改善光束质量,压缩脉宽,其输出能量可达360J,脉冲宽度为30~500p ...
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