钝化技术

更新时间:-- | 阅读量: 246

passivation technique

搜索到与“ 钝化技术”相关的文献共 2

  • 硅深刻蚀工艺的研究

    穿透硅通孔技术是实现3D集成封装的关键技术之一,而交替复合深刻蚀技术是实现穿透硅通孔的重要方式。本文分别采用CF4、C4F8和O2研究交替复合深刻蚀中的钝化工艺,用X射线能谱测试仪分析了不同气体在硅表...

    《科技创新与应用》 2013年21期 关键词: "穿透硅通孔(TSV)"," 交替复合深刻蚀"," 钝化工艺" 收藏

  • 硅酸盐的研究进展

    综述了锌、铝、镁及其合金表面的硅酸盐钝化的研究情况,详细讨论了硅酸盐溶液的溶液结构以及硅酸盐钝化膜的成膜机理,并对硅酸盐钝化技术的应用进行了展望。

    《电镀与涂饰》 2020年01期 关键词: "金属"," 硅酸盐"," 钝化"," 机理"," 综述" 收藏

查看更多

钝化技术相似词

钝化技术相关词

钝化技术相关期刊

Copyright © 2013-2016 ZJHJ Corporation,All Rights Reserved

京ICP备2021021570号-13

京公网安备 11011102000866号