钝化技术
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passivation technique

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硅深刻蚀技术中钝化工艺的研究
穿透硅通孔技术是实现3D集成封装的关键技术之一,而交替复合深刻蚀技术是实现穿透硅通孔的重要方式。本文分别采用CF4、C4F8和O2研究交替复合深刻蚀中的钝化工艺,用X射线能谱测试仪分析了不同气体在硅表...

《科技创新与应用》 2013年21期关键词: "穿透硅通孔(TSV)"," 交替复合深刻蚀"," 钝化工艺" 收藏
硅酸盐钝化技术的研究进展
综述了锌、铝、镁及其合金表面的硅酸盐钝化的研究情况,详细讨论了硅酸盐溶液的溶液结构以及硅酸盐钝化膜的成膜机理,并对硅酸盐钝化技术的应用进行了展望。

《电镀与涂饰》 2020年01期关键词: "金属"," 硅酸盐"," 钝化"," 机理"," 综述" 收藏