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由气、液、固三种物质状态组合,生长物质先由气态变为液态,再由液态沉积生长成固态晶...VLS外延生长法被广泛用于生长Si、Ge、GaAs、Ga等半导体材料及α-Al2O3、SiC、BeO等，可制备微型电路、半导体结。
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