真空电弧离子镀

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用电弧放电将阴极材料直接沉积在基材表面的方法。阴极工作面经引弧触发器引燃,产生...基材相对于阴极加负电位,吸收阴极材料离子形成薄膜。斑区发射的数百或数十安培的电子流,被阳极吸收,维持稳定放电,电弧电压为15V~40V。阴极既是蒸发源、又 ...

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