非对称双极脉冲磁控溅射

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厚度小于1μm的高温超导材料。由于薄膜在制作电子器件中的重要性,在发现高温超导体之后...以YBa2Cu3O7-δ(简写为YBCO)为例,电子束共蒸发、磁控溅射、脉冲激光淀积,以及金属有机物化学气相沉积(MOCVD)等方法都可成功地用于制 ...

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