等离子体化学气相沉积

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用等离子体激活反应气体,促进在基体表面或近表面空间进行化学反应,生成固态膜的技术。...原理是在高频或直流电场作用下,源气体电离形成等离子体,基体浸没在等离子体中或放置在等离子体下方,吸附在基体表面的反应粒子受高能电子轰击,结合键断裂成为 ...

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