激光刻蚀
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利用激光能量对物料进行的电加热。激光加热的优点是:①功率密度高,可达108～109 W/cm2,...激光钻孔、切割和刻蚀利用功率密度为105～106W/cm2的激光照射工件表面，可使材料迅速气化，实现对工件的钻孔、切割和刻蚀。激光钻孔主 ...

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用于垂直腔面发射激光器的GaAs/AlGaAs的ICP刻蚀工艺研究
采用电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备对应用于垂直腔面发射激光器的GaAs/AlGaAs材料进行刻蚀工艺研究。该刻蚀实验采用光刻胶作为刻蚀掩模,Cl2/BCl3作为刻蚀工艺气体,通过实验分析总结了IC...

《中国激光》 2020年04期关键词: "激光光学"," 垂直腔面激光发射器"," 电感耦合等离子体刻蚀"," 圆台结构"," GaAs/AlGaAs材料" 收藏
激光诱导背向湿式刻蚀过程中工作液体的研究
为了使用低成本的红外光纤激光器对蓝宝石进行高效率高质量的加工,采用激光诱导背向湿式刻蚀方法进行了理论分析和实验验证,研制了一种新型的活性高且稳定性高的混合溶液,硫酸铜的质量浓度为28g/L、次磷酸钠的...

《激光技术》 2020年01期关键词: "激光技术"," 混合溶液"," 激光诱导背向湿式刻蚀"," 蓝宝石"," 成形切割" 收藏
垂直腔面发射激光器中GaAs/AlGaAs的选择性刻蚀技术研究
在氧化物限制型垂直腔面发射激光器制备中,刻蚀GaAs/AlGaAs时因异质型材料常出现选择性内蚀现象,这会直接影响后续的氧化工艺及电极钝化的效果。针对因选择性内蚀而出现的"镂空"现象,对湿法刻蚀工艺和...

《中国激光》 2020年04期关键词: "激光技术"," 垂直腔面发射激光器"," GaAs/AlGaAs"," 湿法刻蚀"," 感应耦合等离子体刻蚀"," 选择性内蚀"," 镂空" 收藏