超薄膜
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ultrathinfilm capacitor

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超声喷雾热解法制备AZO薄膜及其光致发光性能研究
利用超声喷雾热解法以乙酸锌、硝酸铝为Zn、Al源配制前驱体溶液，按不同的Zn、Al原子比（1:0.02，1：0.03，1：0.04，1：0.05和1:0.06）在单晶硅(100)衬底上制备出具有较好光...

《辽宁师范大学学报（自然科学版）》 2015年1期关键词: "AZO薄膜","超声喷雾热解","光致发光谱","表面形貌","薄膜结构" 收藏
前驱体温度对激光化学气相沉积YBa₂Cu₃O_7-δ超导薄膜结构及性能的影响
采用激光化学气相沉积法在Al2O3基底上以49μm·h-1的沉积速率高速制备了c-轴取向的YBa2Cu3O7-δ薄膜,其中,激光功率为133 W,沉积温度1103 K,腔体压强800 Pa。研究了前驱...

《材料科学与工艺》 2020年02期关键词: "激光化学气相沉积"," 7-δ薄膜","","Mjg5ODVoOFdqZTNOVzNsaTdUeDhTWGZtMmhCRGY4RGhNN09iQ09SdkZDbmtXNzdNSVYwV2JCQ0tQQy9xSE1EOUhhNmp0NGhZOA==)","&#xA"," >YBa2Cu3O7-δ薄膜"," 高速沉积" 收藏