二氧化硅减反薄膜

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薄膜混合集成电路是一门研究在陶瓷或特种玻璃基片上,采用真空蒸发、溅射、化学淀积...薄膜多层布线的介质有二氧化硅、氮化硅、聚酰亚胺、一氧化硅等材料。薄膜混合集成电路的特点是:精度高、稳定性好、高频特性好、抗幅射性能强。因此它宜于制造各种高 ...

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