DLC膜
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磁控溅射WS_x/W/DLC/W多层膜的微观结构及摩擦学性能
采用磁控溅射技术在硅基底上交替沉积WSx、W以及DLC膜层制备WSx/W/DLC/W多层膜。利用X射线衍射仪、扫描电镜、纳米压痕仪等对多层膜的微观结构和力学性能进行了表征,使用球盘式摩擦磨损试验机测试...

《稀有金属材料与工程》 2020年04期关键词: "WS_x"," 类金刚石碳膜"," W"," 多层膜"," 摩擦磨损" 收藏