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碳氢化合物在一定的温度下分解,气相碳在基体上沉积,形成具有金刚石晶体结构的薄膜的工艺...图1金刚石低压气相沉积过程示意图不论是高温高压合成的,还是天然的金刚石,都未能制成膜状金刚石,从而使得多年来只利用了金刚石硬度高的特性,其他优异的特 ...
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在甲烷气氛下,利用不同材质摩擦副与非晶碳(a-C)基薄膜构成不同的自配副与非自配副摩擦体系,构建出不同的滑动界面,通过研究非晶碳(a-C)基薄膜与不同摩擦副对摩时的摩擦学行为,分析探索滑动界面对体系摩...
《摩擦学学报》 2020年02期 关键词: "类金刚石薄膜"," 甲烷"," 摩擦"," 滑动界面"," 钝化" 收藏
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