类金刚石碳膜

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碳氢化合物在一定的温度下分解,气相碳在基体上沉积,形成具有金刚石晶体结构的薄膜的工艺...图1金刚石低压气相沉积过程示意图不论是高温高压合成的,还是天然的金刚石,都未能制成膜状金刚石,从而使得多年来只利用了金刚石硬度高的特性,其他优异的特 ...

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