磁控共溅射

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目前梯度材料的制备方法主要有气相沉积法、溅射法、粒子排列法、离心铸造法和电沉积...溅射法是在双靶或多靶(磁控)共溅射的基础上通过控制各靶的溅射速率控制溅射薄膜的成分梯度,利用此类方法已制备出TiAlN-TiN、TiN-Ti等。粒子排列法 ...

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