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气相状态的蒸发物质在基板上沉积凝固而形成的膜。其厚度从单原子层、单分子层到5μ...材料有低温外延单晶薄膜（Si、GaAs器件、薄膜表面波器件、薄膜音响光学器件、薄膜光集成回路等）、取向性薄膜（磁性用、压电用薄膜等）、非晶薄膜（Si半导体 ...
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