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在真空状态下将金属加热气化成分子和原子,或者使其离子化成离子,直接沉积到镀件表面...20世纪初发现金属的真空热蒸发，1930年制成油扩散泵，能达到一定真空度以满足金属真空蒸发的要求，实用的真空镀膜才得以问世。阴极溅射是在高真空下的氩气辉 ...
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