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用物理和化学分析法检测半导体材料的性能和评价其质量的方法。它对探索新材料、新器件和...外延材料中载流子浓度的剖面分布采用电容-电压法，可测深度受结或势垒雪崩击穿的限制，随浓度的增加而减小。在此基础上建立的电化学电容-电压法，它是利用电解 ...
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