电子束沉积

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在真空条件 (5×10-4Pa)下,用电子束加热源物质,形成适当组分材料的熔池,以气体方式...沉积薄的功能膜沉积速率低,功率亦低。沉积隔热厚膜沉积速率要快达40μm/h以上,功率亦需大。隔热涂层可蒸镀金属MCrAlY和陶瓷ZrO2,形成 ...

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