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用物理和化学分析法检测半导体材料的性能和评价其质量的方法。它对探索新材料、新器件和...电学参数测量包括导电类型、电阻率、载流子浓度、迁移率、补偿度、少子寿命及其均匀性的测量等。测量导电类型目前常用的是基于温差电动势的冷热探笔法和基于整流 ...
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