变波长
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波长渐变滤光片的设计与测试探讨
基于膜厚渐变-波长渐变的原理设计了波长渐变滤光片,介绍了基于反应磁控溅射镀膜工艺制造波长渐变滤光片的制备工艺,设计了渐变膜厚的修正掩膜板。探讨了波长渐变滤光片的测试技术。

《真空》 2020年01期关键词: "波长渐变滤光片"," 渐变掩膜板"," 磁控溅射"," 渐变光谱测试" 收藏