多层掺杂

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一种半导体薄膜材料制备的方法,也用于制备金属或化合物薄膜。它的原理是以金属有机化合...80年代开始,它为“能带工程”研制了许多新型薄膜结构材料,其中主要有应变层超晶格、多量子阱、调制掺杂、原子层和原子掺杂以及硅衬底上生长Ⅲ-Ⅴ或Ⅱ-Ⅵ族 ...

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