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李志坚,中国科学院院士,半导体物理学家,微电子学专家,教育家。在为清华大学创建半导体...④1997年开始RF（射频）MEMS研究，已研制出其工艺与硅兼容的RF开关、RF滤波器、电感等。（4）从1989年起开展“人工神经网络”、“模糊逻辑 ...
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