氮化钽
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tantalum nitride

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氮化钽换能元的制备工艺研究
开展了一种制备氮化钽换能元的工艺研究,利用射频电源溅射氮化钽薄膜,采用剥离工艺制备氮化钽换能元图形,获得满足完整性、一致性和重复性要求的氮化钽换能元。依据GJB/z377A-94感度试验用兰利法,测得...

《火工品》 2020年01期关键词: "换能元"," 氮化钽"," MEMS"," 发火能量"," 工艺" 收藏