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用能量为10～500eV低能电子束照射样品,测量样品散射束强度和分布的一种表面结构分析...用于研究有序表面单位网格的形状和大小，表面原子的平衡位置和各种缺陷结构。在材料科学中，广泛应用于材料表面二维结构、重构、吸附、相变、晶格振动、扩散 ...
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