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到目前为止,我们所提到的微小器件基本都是平面的,计算机芯片虽有几层布线,但每层基本上...发展一种灵活的、经济的、具有光刻能力的方法来制作三维微结构将会在微流体系统、MEMS、光学器件等方面具有许多应用。”新近发展的一种制作微小的三维结构 ...
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