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    深反应离子刻蚀

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    微电子加工技术能够在1cm2的面积内制造出包含几百万个工作元件的复杂的平面结构,这种...这个放射式的流入涡轮机是采用深反应离子刻蚀法用硅制作的。人们设想一个体积为1@cm3的碳氢化合物燃烧气体涡轮发电机用这种方法制作出来，可以产生50 ...

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