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无色透明粘稠溶液。掺杂后可成为扩散用乳胶源。...在20℃长时间放置会聚合。加热到200℃,保温20分钟即形成二氧化硅膜。应干燥密封保存。可用作半导体器件表面生长保护膜和表面钝化的涂布液、扩散掩蔽膜、多层布线间的绝缘层等。
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