区熔硅

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用区熔法单晶生长技术制备的半导体硅材料,是重要的硅单晶产品。由于硅熔体与坩埚容器起...晶体缺陷区熔硅中的晶体缺陷有位错和漩涡缺陷。中子嬗变晶体还有辐照缺陷,在纯氢或氩-氢混合气氛中区熔时,常引起氢致缺陷。其中漩涡缺陷有A、B、C和D四种 ...

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