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Si-SiO2界面是半导体器件中最为重要的一种绝缘体-半导体界面.它是由硅晶体表面高温热氧...用途最广的是热氧化形成的Si-SiO2界面，由于这种热氧化Si-SiO2界面可以获得较低的界面态密度和较低的界面固定氧化物电荷密度，可作为一种 ...
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