新技术、新器件、新工艺

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王阳元,中国科学院院士,微电子学家,我国硅栅N沟道技术开拓者之一。在多晶硅薄膜物理和...2000年以后,他科学分析了微电子科学技术发展趋势,提出了SOC新工艺新器件国家重大基础研究课题,开展亚45nm新结构器件和工艺技术研究,研制成功了 ...

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