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    迁移气氛

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    在特定的气氛、压力等条件下,按照一定的温度程序,对半导体单晶锭或晶片进行热处理的半导...半绝缘砷化镓单晶锭在850～950℃和氮或氮+砷气氛下整锭退火后，电子迁移率从<4000cm2/（V·s）提高到>4000cm2/（V· ...

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