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这里讲的是用于研制生产半导体器件管芯(包括集成电路块)的工艺方法,该工艺的核心是如何
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《电子器件》
《太赫兹科学与电子信息学报》
《Frontiers of Information Technology & Electronic Engineering》
《浙江大学学报(英文版)(C辑:计算机与电子)》
《固体电子学研究与进展》
《微细加工技术》
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