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在真空状态下将金属加热气化成分子和原子,或者使其离子化成离子,直接沉积到镀件表面...阴极溅射是在高真空下的氩气辉光放电,带正电的氩离子轰击阴极,使阴极的金属原子被溅射蒸镀到镀件表面形成镀层。该现象早在19世纪50年代即已发现,20世纪6 ...
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